Teknoloġija
Epitaxy tar-raġġ molekulari, jew MBE, hija teknika ġdida għat-tkabbir ta 'films irqaq ta' kwalità għolja ta 'kristalli fuq sottostrati tal-kristall. F'kundizzjonijiet ta 'vakwu ultra-għoli, mill-istufi tat-tisħin huwa mgħammar b'kull tip ta' komponenti meħtieġa u jiġġenera fwar, permezz ta 'toqob iffurmati wara raġġ ta' kollimazzjoni atomiku jew raġġ molekulari, injezzjoni diretta għat-temperatura xierqa tas-sottostrat tal-kristall wieħed, li tikkontrolla raġġ molekulari biex l-iskannjar tas-sottostrat fl-istess ħin, jista 'jagħmel il-molekuli jew l-atomi f'saffi ta' allinjament tal-kristall biex jiffurmaw film irqiq fuq sottostrat "tkabbir".
Għat-tħaddim normali tat-tagħmir MBE, purità għolja, pressjoni baxxa u nitroġenu likwidu ultra nadif huwa meħtieġ li jiġi ttrasportat b'mod kontinwu u stabbli lejn il-kamra tat-tkessiħ tat-tagħmir. B'mod ġenerali, tank li jipprovdi nitroġenu likwidu għandu pressjoni tal-ħruġ bejn 0.3MPa u 0.8MPa.Nitroġenu likwidu f'-196 ℃ jiġi vaporizzat faċilment f'nitroġenu waqt it-trasport tal-pipeline. Ladarba n-nitroġenu likwidu bi proporzjon tal-gass-likwidu ta 'madwar 1:700 jiġi gassifikat fil-pipeline, se jokkupa ammont kbir ta' spazju tal-fluss tan-nitroġenu likwidu u jnaqqas il-fluss normali fit-tmiem tal-pipeline tan-nitroġenu likwidu. Barra minn hekk, fit-tank tal-ħażna tan-nitroġenu likwidu, x'aktarx li jkun hemm debris li ma jkunx ġie mnaddaf. Fil-pipeline tan-nitroġenu likwidu, l-eżistenza ta 'arja mxarrba se twassal ukoll għall-ġenerazzjoni ta' gagazza tas-silġ. Jekk dawn l-impuritajiet jiġu skarikati fit-tagħmir, dan jikkawża ħsara imprevedibbli lit-tagħmir.
Għalhekk, in-nitroġenu likwidu fit-tank tal-ħażna ta 'barra jiġi ttrasportat lejn it-tagħmir MBE fil-workshop mingħajr trab b'effiċjenza għolja, stabbiltà u nadif, u l-pressjoni baxxa, l-ebda nitroġenu, l-ebda impuritajiet, 24 siegħa mingħajr interruzzjoni, tali sistema ta' kontroll tat-trasport hija prodott kwalifikat.
Tagħmir MBE li jqabbel
Mill-2005, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ilu jottimizza u jtejjeb din is-sistema u jikkopera mal-manifatturi internazzjonali tat-tagħmir MBE. Il-manifatturi tat-tagħmir MBE, inklużi DCA, REBER, għandhom relazzjonijiet ta 'kooperazzjoni mal-kumpanija tagħna. Il-manifatturi tat-tagħmir MBE, inklużi DCA u REBER, ikkooperaw f'numru kbir ta 'proġetti.
Riber SA hija fornitur globali ewlieni ta 'prodotti ta' epitassi tar-raġġ molekulari (MBE) u servizzi relatati għal riċerka ta 'semikondutturi komposti u applikazzjonijiet industrijali. L-apparat Riber MBE jista 'jiddepożita saffi irqaq ħafna ta' materjal fuq is-sottostrat, b'kontrolli għoljin ħafna. It-tagħmir tal-vakwu ta 'HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) huwa mgħammar b'Riber SA L-akbar tagħmir huwa Riber 6000 u l-iżgħar huwa Compact 21. Huwa f'kundizzjoni tajba u ġie rikonoxxut mill-klijenti.
DCA huwa l-ossidu MBE ewlieni fid-dinja. Mill-1993, twettaq żvilupp sistematiku ta 'tekniki ta' ossidazzjoni, tisħin ta 'sottostrat antiossidant u sorsi antiossidanti. Għal din ir-raġuni, ħafna laboratorji ewlenin għażlu t-teknoloġija tal-ossidu DCA. Is-sistemi komposti tas-semikondutturi MBE jintużaw madwar id-dinja. Is-sistema ta 'ċirkolazzjoni tan-nitroġenu likwidu VJ ta' Tagħmir Krijoġeniku HL (HL CRYO) u t-tagħmir MBE ta 'mudelli multipli ta' DCA għandhom l-esperjenza ta 'tqabbil f'ħafna proġetti, bħall-mudell P600, R450, SGC800 eċċ.
Tabella tal-Prestazzjoni
Shanghai Istitut tal-Fiżika Teknika, Akkademja Ċiniża tax-Xjenzi |
Il-11-il Istitut taċ-Ċina Electronics Technology Corporation |
Istitut tas-Semikondutturi, Akkademja tax-Xjenzi Ċiniża |
Huawei |
Akkademja Alibaba DAMO |
Powertech Technology Inc. |
Delta Electronics Inc. |
Suzhou Everbright Photonics |
Ħin tal-post: Mejju-26-2021