Il-proġett CHIP MBE tlesta fl-aħħar snin

Teknoloġija

Epitaxy tar-raġġ molekulari, jew MBE, hija teknika ġdida għat-tkabbir ta 'films irqaq ta' kwalità għolja ta 'kristalli fuq substrati tal-kristall. F'kundizzjonijiet ta 'vakwu ultra-għoljin, billi l-fuklar tat-tisħin huwa mgħammar b'kull tip ta' komponenti meħtieġa u jiġġenera fwar, permezz ta 'toqob iffurmati wara raġġ atomiku jew molekulari tar-raġġ, injezzjoni diretta għat-temperatura xierqa tas-sottostrat tal-kristall wieħed, li jikkontrolla r-raġġ molekulari għal L-iskannjar tas-sottostrat fl-istess ħin, jista 'jagħmel il-molekuli jew l-atomi fis-saffi ta' allinjament tal-kristall biex jifforma film irqiq fuq "tkabbir" tas-sottostrat.

Għat-tħaddim normali ta 'tagħmir MBE, purità għolja, pressjoni baxxa u nitroġenu likwidu ultra-nadif huwa meħtieġ li jinġarr kontinwament u stabbli lejn il-kamra tat-tkessiħ tat-tagħmir. B'mod ġenerali, tank li jipprovdi nitroġenu likwidu għandu pressjoni tal-ħruġ bejn 0.3MPa u 0.8MPa.liquid nitroġenu f'196 ℃ huwa faċilment vaporizzat fin-nitroġenu waqt it-trasport tal-pipeline. Ladarba n-nitroġenu likwidu bi proporzjon tal-gass-likwidu ta 'madwar 1: 700 jiġi gasified fil-pipeline, huwa jokkupa ammont kbir ta' spazju tal-fluss tan-nitroġenu likwidu u jnaqqas il-fluss normali fit-tarf tal-pipeline tan-nitroġenu likwidu. Barra minn hekk, fit-tank tal-ħażna tan-nitroġenu likwidu, x'aktarx ikun hemm fdalijiet li ma ġewx imnaddfa. Fil-pipeline tan-nitroġenu likwidu, l-eżistenza ta 'arja mxarrba twassal ukoll għall-ġenerazzjoni ta' gagazza tas-silġ. Jekk dawn l-impuritajiet jintremew fit-tagħmir, dan jikkawża ħsara imprevedibbli fit-tagħmir.

Għalhekk, in-nitroġenu likwidu fit-tank tal-ħażna ta 'barra jiġi ttrasportat lejn it-tagħmir MBE fil-workshop ħieles mit-trab b'effiċjenza għolja, stabbiltà u nadif, u l-pressjoni baxxa, l-ebda nitroġenu, l-ebda impuritajiet, 24 siegħa mingħajr interruzzjoni, sistema ta' kontroll ta 'trasport bħal din hija prodott kwalifikat.

TCM (4)
TCM (1)
TCM (3)

Tagħmir MBE li jaqbel

Mill-2005, it-tagħmir krijoġeniku HL (HL Cryo) ilu jottimizza u jtejjeb din is-sistema u jikkoopera mal-manifatturi internazzjonali tat-tagħmir MBE. Il-manifatturi tat-tagħmir MBE, inklużi DCA, Reber, għandhom relazzjonijiet kooperattivi mal-kumpanija tagħna. Il-manifatturi tat-tagħmir MBE, inklużi DCA u Reber, ikkooperaw f'numru kbir ta 'proġetti.

Riber SA huwa fornitur globali ewlieni ta 'prodotti ta' epitaxy ta 'raġġ molekulari (MBE) u servizzi relatati għal riċerka u applikazzjonijiet industrijali komposti. L-apparat RIBER MBE jista 'jiddepożita saffi rqaq ħafna ta' materjal fuq is-sottostrat, b'kontrolli għoljin ħafna. It-tagħmir tal-vakwu ta 'tagħmir krijoġeniku HL (HL cryo) huwa mgħammar b'Riber SA L-akbar tagħmir huwa Riber 6000 u l-iżgħar huwa kompatt 21. Huwa f'kondizzjoni tajba u ġie rikonoxxut mill-klijenti.

DCA huwa l-ossidu ewlieni tad-dinja MBE. Mill-1993, sar żvilupp sistematiku ta 'tekniki ta' ossidazzjoni, tisħin ta 'substrat anti-ossidanti u sorsi anti-ossidanti. Għal din ir-raġuni, ħafna laboratorji ewlenin għażlu t-teknoloġija tal-ossidu DCA. Is-sistemi MBE semikondutturi komposti jintużaw madwar id-dinja. Is-sistema li tiċċirkola nitroġenu likwidu VJ ta 'tagħmir krijoġeniku HL (HL cryo) u t-tagħmir MBE ta' mudelli multipli ta 'DCA għandhom l-esperjenza ta' tqabbil f'ħafna proġetti, bħall-mudell P600, R450, SGC800 eċċ.

TCM (2)

Tabella tal-Prestazzjoni

Istitut ta 'Shanghai tal-Fiżika Teknika, Akkademja tax-Xjenzi Ċiniża
Il-11-il Istitut taċ-Ċina Elettronika Teknoloġija Korporazzjoni
Istitut tas-Semikondutturi, Akkademja tax-Xjenzi Ċiniża
Huawei
Alibaba Damo Academy
Powertech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright Photonics

POST TIME: Mejju-26-2021

Ħalli l-messaġġ tiegħek