Is-sistemi ta 'tkessiħ tan-nitroġenu likwidu huma użati ħafna fl-industrija tas-semikondutturi u taċ-ċippa, inkluż il-proċess ta',
- It-teknoloġija tal-epitassi tar-raġġ molekulari (MBE)
- It-test taċ-ċippa wara l-pakkett COB
Prodotti relatati
Serje tal-pajpijiet iżolati bil-vakwu
Serje tal-manka flessibbli iżolata bil-vakwu
Sistema dinamika tal-pompa tal-vakwu
Serje tas-separatur tal-fażi iżolata bil-vakwu
Serje ta 'valv iżolat bil-vakwu
Tagħmir ta 'Appoġġ tas-Sistema tal-Pajpijiet
Epitassi tar-raġġ molekulari
It-teknoloġija tal-epitassi tar-raġġ molekulari (MBE) ġiet żviluppata fl-1950 biex tipprepara materjali tal-film irqiq tas-semikondutturi bl-użu ta 'teknoloġija ta' evaporazzjoni bil-vakwu. Bl-iżvilupp ta 'teknoloġija tal-vakwu ultra-għolja, l-applikazzjoni tat-teknoloġija ġiet estiża għall-qasam tax-xjenza semikondutturi.
HL innotat id-domanda tas-sistema tat-tkessiħ tan-nitroġenu likwidu MBE, is-sinsla teknika organizzata biex tiżviluppa b'suċċess sistema speċjali ta 'kooing tan-nitroġenu MBE likwidu għat-teknoloġija MBE u sett komplet ta' sistema ta 'pajpijiet iżolati bil-vakwu, li ntużat f'ħafna intrapriżi, universitajiet u istituti ta' riċerka -
Il-problemi komuni tas-semikondutturi u l-industrija taċ-ċippa jinkludu,
- Il-pressjoni tan-nitroġenu likwidu fit-tagħmir tat-terminal (MBE). Tipprevjeni tagħbija żejda mill-pressjoni minn tagħmir tat-terminal li jagħmel ħsara (MBE).
- Kontrolli multipli tad-dħul tal-likwidu krijoġeniku u tal-ħruġ
- It-temperatura tan-nitroġenu likwidu f'tagħmir terminali
- Ammont raġonevoli ta 'emissjonijiet ta' gass krijoġeniku
- (Awtomatiku) Qlib tal-linji ewlenin u tal-fergħa
- Aġġustament tal-pressjoni (tnaqqis) u stabbiltà tal-VIP
- Tindif ta 'l-impuritajiet possibbli u r-residwi tas-silġ mit-tank
- Ħin tal-mili tat-tagħmir likwidu terminali
- Pipeline Precooling
- Reżistenza tal-likwidu fis-sistema VIP
- Kontroll telf ta 'nitroġenu likwidu waqt servizz mhux kontinwu tas-sistema
Il-pajp iżolat bil-vakwu HL (VIP) huwa mibni għal ASME B31.3 Kodiċi tal-pajpijiet tal-pressjoni bħala standard. Esperjenza ta 'inġinerija u kapaċità ta' kontroll tal-kwalità biex tiżgura l-effiċjenza u l-kosteffikaċja tal-impjant tal-klijent.
Soluzzjonijiet
Tagħmir krijoġeniku HL jipprovdi lill-klijenti bis-sistema tal-pajpijiet iżolati bil-vakwu biex jissodisfaw ir-rekwiżiti u l-kundizzjonijiet tal-industrija tas-semikondutturi u taċ-ċippa:
1. Sistema ta 'Ġestjoni tal-Kwalità: ASME B31.3 Kodiċi tal-pajpijiet tal-pressjoni.
2. Separatur tal-fażi speċjali b'diversi likwidu krijoġeniku u żbokk b'funzjoni ta 'kontroll awtomatiku jissodisfa r-rekwiżit ta' emissjoni ta 'gass, nitroġenu likwidu riċiklat u temperatura tan-nitroġenu likwidu.
3. Id-disinn tal-egżost adegwat u f'waqtu jiżgura li t-tagħmir terminali dejjem jaħdem fil-valur tal-pressjoni ddisinjat.
4. Il-barriera tal-gass-likwidu hija mqiegħda fil-pajp Vertical VI fl-aħħar tal-pipeline VI. Il-barriera tal-gass likwidu juża l-prinċipju tas-siġill tal-gass biex jimblokka s-sħana mit-tarf tal-pipeline VI fil-pajpijiet VI, u jnaqqas b'mod effettiv it-telf ta 'nitroġenu likwidu waqt servizz mhux kontinwu u intermittenti tas-sistema.
5.VI pajpijiet ikkontrollati mis-serje tal-valv iżolat bil-vakwu (VIV): inkluż valv ta 'għeluq iżolat bil-vakwu (pnewmatiku), valv ta' kontroll iżolat bil-vakwu, valv li jirregola l-vakwu iżolat eċċ. Diversi tipi ta 'VIV jistgħu jiġu modulari kkombinati biex jikkontrollaw il-VIP bħala meħtieġa. Viv huwa integrat mal-prefabbrikazzjoni VIP fil-manifattur, mingħajr trattament iżolat fuq il-post. L-unità tas-siġill ta 'VIV tista' tinbidel faċilment. (HL taċċetta l-marka tal-valv krijoġeniku magħżula mill-klijenti, u mbagħad tagħmel valvi iżolati bil-vakwu minn HL. Xi marki u mudelli ta 'valvi jistgħu ma jkunux jistgħu jsiru f'valvi iżolati bil-vakwu.)
6.Cleanliness, jekk hemm rekwiżiti addizzjonali għall-indafa tal-wiċċ tat-tubu ta 'ġewwa. Huwa ssuġġerit li l-klijenti jagħżlu pajpijiet tal-istainless steel BA jew EP bħala pajpijiet ta 'ġewwa VIP biex ikomplu jnaqqsu t-tixrid tal-istainless steel.
7.Vacuum Insulated Filter: Naddaf l-impuritajiet possibbli u r-residwu tas-silġ mit-tank.
8. Wara ftit jiem jew itwal ta 'għeluq jew manutenzjoni, huwa meħtieġ ħafna li l-pajpijiet VI u t-tagħmir tat-terminal qabel ma jiddaħħlu likwidu krijoġeniku, sabiex jiġi evitat gagazza tas-silġ wara likwidu krijoġeniku jidħol direttament fit-tagħmir tal-pajpijiet u terminali VI. Il-funzjoni ta 'precooling għandha tkun ikkunsidrata fid-disinn. Jipprovdi protezzjoni aħjar għal tagħmir terminali u tagħmir ta 'appoġġ għall-pajpijiet VI bħal valvi.
9.Suit għas-sistema ta 'pajpijiet kemm dinamiċi kif ukoll statiċi ta' vakwu (flessibbli).
10. Sistema ta 'pajpijiet insulati bil-vakwu (flessibbli): tikkonsisti minn pajpijiet flessibbli VI u / jew pajp VI, pajpijiet tal-jumper, sistema ta' valv iżolat bil-vakwu, separaturi tal-fażi u sistema dinamika tal-pompa tal-vakwu (inklużi l-pompi tal-vakwu, valvi tas-solenojdi u gauges tal-vakwu eċċ. ). It-tul ta 'pajp flessibbli Vi wieħed jista' jiġi personalizzat skont ir-rekwiżiti tal-utent.
11. Tipi ta 'Konnessjoni Various: Konnessjoni tal-Bayonet bil-Vakwu (VBC) It-tip u l-konnessjoni wweldjata tista' tintgħażel. It-tip VBC m'għandux bżonn trattament iżolat fuq il-post.
