Is-sistemi ta 'tkessiħ tan-nitroġenu likwidu jintużaw ħafna fl-industrija tas-semikondutturi u taċ-ċippa, inkluż il-proċess ta',
- It-teknoloġija ta 'Molecular Beam Epitaxy (MBE)
- It-test taċ-ċippa wara l-pakkett COB
Prodotti Relatati
Serje tal-pajp iżolat bil-vakwu
Serje ta 'manka flessibbli iżolata bil-vakwu
Sistema Dinamika tal-Pompa tal-Vakwu
Serje ta 'Separatur tal-Fażi iżolati bil-vakwu
Serje tal-valv iżolat bil-vakwu
Tagħmir ta 'Appoġġ tas-Sistema ta' Pajpijiet
EPITASSI TA ' RAĠĠ MOLEKOLARI
It-teknoloġija ta 'Molecular Beam Epitaxy (MBE) ġiet żviluppata fis-snin 50 biex tipprepara materjali ta' film irqiq semikondutturi bl-użu ta 'teknoloġija ta' evaporazzjoni bil-vakwu. Bl-iżvilupp tat-teknoloġija tal-vakwu ultra-għoli, l-applikazzjoni tat-teknoloġija ġiet estiża għall-qasam tax-xjenza tas-semikondutturi.
HL innota d-domanda tas-sistema tat-tkessiħ tan-nitroġenu likwidu MBE, sinsla teknika organizzata biex tiżviluppa b'suċċess sistema speċjali ta 'cooing tan-nitroġenu likwidu MBE għat-teknoloġija MBE u sett komplut ta' sistema ta 'pajpijiet iżolati bil-vakwu, li ntuża f'ħafna intrapriżi, universitajiet u istituti ta' riċerka .
Il-problemi komuni tal-industrija tas-semikondutturi u taċ-ċippa jinkludu,
- Il-Pressjoni tan-Nitroġenu Likwidu f'Tagħmir Terminal (MBE). Prevenzjoni ta 'Tagħbija Eċċessiva tal-Pressjoni mit-Tagħmir tat-Terminal ta' Ħsara (MBE).
- Kontrolli Multipli tad-Dħul u l-Ħruġ tal-Likwidu Krijoġeniku
- It-Temperatura tan-Nitroġenu Likwidu f'Tagħmir Terminali
- Ammont Raġjonevoli ta' Emissjonijiet ta' Gass Krijoġeniku
- Qlib (Awtomatiku) ta' Linji Prinċipali u Fergħat
- Aġġustament tal-Pressjoni (Tnaqqis) u Stabbiltà tal-VIP
- Tindif 'il bogħod mill-Impuritajiet Possibbli u l-Fdal tas-Silġ mit-Tank
- Ħin tal-Mili tat-Tagħmir Likwidu Terminali
- Tkessiħ minn qabel tal-pipeline
- Reżistenza Likwida fis-Sistema VIP
- Kontroll Telf ta 'Nitroġenu Likwidu Waqt Servizz Diskontinwu tas-Sistema
Il-pajp iżolat bil-vakwu (VIP) ta 'HL huwa mibni skont il-kodiċi tal-pajpijiet tal-pressjoni ASME B31.3 bħala standard. Esperjenza ta 'inġinerija u kapaċità ta' kontroll tal-kwalità biex tiżgura l-effiċjenza u l-kosteffettività tal-impjant tal-klijent.
SOLUZZJONIJIET
It-Tagħmir Krijoġeniku HL jipprovdi lill-klijenti bis-Sistema ta' Pajpijiet Iżolati bil-Vakwu biex jissodisfaw ir-rekwiżiti u l-kundizzjonijiet tal-industrija tas-semikondutturi u taċ-ċippa:
1.Sistema ta 'Ġestjoni tal-Kwalità: Kodiċi tal-Piping tal-Pressjoni ASME B31.3.
2.A Separatur ta 'Fażi Speċjali b'Dħul u Ħruġ ta' Likwidu Krijoġeniku Multipli b'funzjoni ta 'kontroll awtomatiku jissodisfa r-rekwiżit ta' emissjoni ta 'gass, nitroġenu likwidu riċiklat u temperatura ta' nitroġenu likwidu.
3.Disinn ta 'l-exhaust adegwat u f'waqtu jiżgura li t-tagħmir terminali dejjem jaħdem fil-valur tal-pressjoni ddisinjat.
4.Il-Gass-Liquid Barrier jitqiegħed fil-pajp VI vertikali fit-tarf tal-pipeline VI. Barriera tal-gass-likwidu juża l-prinċipju tas-siġill tal-gass biex jimblokka s-sħana mit-tarf tal-pipeline VI fil-Piping VI, u jnaqqas b'mod effettiv it-telf ta 'nitroġenu likwidu waqt servizz discontinu u intermittenti tas-sistema.
5.VI Pajpijiet Ikkontrollati mis-Serje tal-Valv Insulat bil-Vakwu (VIV): Inkluż Valv ta' għeluq iżolat bil-vakwu (pnewmatiku), Valv ta 'kontroll iżolat bil-vakwu, Valv li jirregola l-iżolament bil-vakwu eċċ Diversi tipi ta' VIV jistgħu jkunu modulari magħquda biex jikkontrollaw il-VIP bħala meħtieġa. VIV huwa integrat mal-prefabbrikazzjoni VIP fil-manifattur, mingħajr trattament iżolat fuq il-post. L-unità tas-siġill ta 'VIV tista' tiġi sostitwita faċilment. (HL jaċċetta l-marka tal-valv krijoġeniku maħtura mill-klijenti, u mbagħad jagħmel valvi iżolati bil-vakwu minn HL. Xi marki u mudelli ta 'valvi jistgħu ma jkunux jistgħu jsiru f'valvi iżolati bil-vakwu.)
6.Indafa, jekk ikun hemm rekwiżiti addizzjonali għall-indafa tal-wiċċ tat-tubu ta 'ġewwa. Huwa ssuġġerit li l-klijenti jagħżlu pajpijiet ta 'l-istainless steel BA jew EP bħala pajpijiet ta' ġewwa VIP biex inaqqsu aktar it-tixrid ta 'l-istainless steel.
7.Filtru iżolat bil-vakwu: Naddaf l-impuritajiet possibbli u r-residwu tas-silġ mit-tank.
8.Wara għeluq jew manutenzjoni ta 'ftit jiem jew itwal, huwa ferm meħtieġ li l-VI Piping u t-tagħmir terminali jiġu mkessħa minn qabel qabel ma jiddaħħal likwidu krijoġeniku, sabiex tiġi evitata gagazza tas-silġ wara li likwidu krijoġeniku jidħol direttament fil-VI Piping u tagħmir terminali. Il-funzjoni tat-tkessiħ minn qabel għandha titqies fid-disinn. Jipprovdi protezzjoni aħjar għat-tagħmir terminali u tagħmir ta 'appoġġ VI Piping bħal valvi.
9.Suit kemm għal Sistema ta 'Pajping Iżolata bil-Vakwu Dinamika u Statika (Flessibbli).
10.Sistema ta 'pajpijiet iżolati bil-vakwu dinamiku (flessibbli): tikkonsisti minn VI Pajpijiet Flessibbli u/jew VI Pajp, Jumper Hoses, Sistema ta' Valv iżolat bil-Vakwu, Separaturi tal-Fażi u Sistema Dinamika tal-Pompa tal-Vakwu (inklużi l-pompi tal-vakwu, valvoli tas-solenojdi u gauges tal-vakwu eċċ. ). It-tul tal-pajp flessibbli VI wieħed jista 'jiġi personalizzat skont ir-rekwiżiti tal-utent.
11.Various Tipi ta 'Konnessjoni: Jistgħu jintgħażlu t-Tip ta' Konnessjoni tal-Bayonetta tal-Vakwu (VBC) u Konnessjoni Iwweldjata. It-tip VBC m'għandhomx bżonn trattament iżolat fuq il-post.
